銳控自動化
Sharp automation control
創專業（yè）技術（shù），建信譽企業（yè）
專業從事工控自（zì）動化一站式服務
24小時（shí）服務熱（rè）線：
Sharp automation control
創專業（yè）技術（shù），建信譽企業（yè）
專業從事工控自（zì）動化一站式服務24小時（shí）服務熱（rè）線：
大（dà）動作範圍：最大搬運尺寸（cùn）達730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人。 手臂采（cǎi）用連杆機構實現高鋼（gāng）性。 采用真（zhēn）空（kōng）內傳送帶驅動實現低放出（chū）氣體性能。 手臂可內置基板傳感器用（yòng）配線。
| 項目 | 規格 | 備注 | |
|---|---|---|---|
| 名稱 | SEMISTAR-VD95D | ||
| 機型 | XU-RVD1450D6-A10(配傳感電纜) | ||
| 構造 | 水平多關節形（xíng）(4個自（zì）由度) | ||
| 動作範圍 | L，R軸(伸縮) | 2300mm | |
| S軸(旋轉) | -170°~+170° | ||
| U軸(升降) | 150mm | ||
| 動作時間*1 (最高速度運作時) |
L，R軸(伸縮) | 3.2秒以下 | 2300mm伸縮距離 |
| S軸(回轉) | 3.8秒以下 | 340deg旋（xuán）轉距離(但L，R=0) | |
| U軸(升（shēng）降（jiàng）) | 2.5秒以下 | 150mm升降距（jù）離 | |
| 重複定位精度*2 | 各軸±0.3mm | 抓手安裝部分中心位置時 | |
| 手臂抖動精度 | ±0.3mm以下 | 水平方向，抓（zhuā）手（shǒu）安裝部分中心位置時 | |
| 負載 | 95KG/手臂 | 含抓手重量 | |
| 容許慣（guàn）性力矩(CD2/4) | 最大118kg·m2 | 含抓手（shǒu）重（chóng）量（liàng），抓手安裝（zhuāng）部分中心位（wèi）置時 | |
| 耐真空度 | 1*10-6Pa | ||
| 本體質量 | 1500kg | ||
| 適（shì）用控製櫃式樣（yàng） | ERDR-VD0095D-A00 | 三相AC200V，3.0kVA | |
*1：動作節（jiē）拍不保證帶有基板時搬運速度（dù）。由於抓手的形狀及抓手的安裝部分的（de）鋼性產生共振時，會（huì）影響（xiǎng）動作節拍，請（qǐng）重新（xīn）設定。
*2：依據JIS B8432標準的動作重複定位精度。但有無工件時（shí）負載變動以（yǐ）及使用速（sù）度的差異（yì）、溫度變化的影響不（bú）考慮在內。
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